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マイクロ・ナノ多機能デバイス連携研究機構
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Posts in 2021年5月27日
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管理者
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on
5月 27
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at
5:00 PM
第2回ナノファブスクエア講習・実習会【精密リソグラフィ】を開催しました
2021年5月27日に佐藤友美先生をお招きし、フォトレジストの性質、精密露光や現像のテクニックについて講習を行っていただきました。またNANOBICの手動両面マスクアライナを使用し実習も行いました。
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