２０２１年１１月４日（木）に茂木 克雄 先生（産業技術総合研究所 主任研究員）をお招きし、プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習していただきました。また、実際にNANOBICのECRイオンビームスパッタ成膜装置 EIS-230Wを使った実習も行いました。
２０２１年１１月４日（木）に茂木 克雄 先生（産業技術総合研究所 主任研究員）をお招きし、プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習していただきました。また、実際にNANOBICのECRイオンビームスパッタ成膜装置 EIS-230Wを使った実習も行いました。
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