2022年10月6日に高橋 英俊 先生(慶應義塾大学大学院理工学系研究科 准教授)をお招きし、パリレン蒸着装置を使った薄膜形成法の原理について講習をしていただきました。 また、実際に装置を使った実習会も行いまし […]
2022年9月8日(木)に計測エンジニアリングシステム株式会社のご協力により、「光デバイス設計のためのマルチフィジックスシミュレーション」講習・実習会を、企業や大学の方を対象に開催しました。 光デバイスは、情報通信技術・ […]
2022年8月25日に計測エンジニアリングシステム株式会社の方をお招きし、COMSOL Multiphysics®*を使って、マイクロ工学プロセス設計のためのマルチフィジックスシミュレーションを体験しました。また解析事例 […]
2022年8月4日に三宅 亮 先生 (東京大学大学院工学系研究科 教授)をお招きし、レーザー直接描画装置を使ったマイクロモールディングについて、原理の講習をしていただきました。また、実際にミクロンオーダーの鋳型(モールド […]
2022年7月21日に塚原 剛彦 先生 (東京工業大学 科学技術創成研究院先導原子力研究所 教授)をお招きし、プラズマを使ったガラスの深掘りエッチングについて、原理の講習をしていただきました。また、実際にNANOBICの […]
2022年7月8日に関口 哲志 先生(早稲田大学ナノ・ライフ創新研究機構研究院教授)をお招きしシリコン深掘りDRIE装置を使ったシリコンの深掘り加工の原理や、応用事例について講習をしていただきました。また、実際にNANO […]
2022年5月26日に佐藤 友美 先生 ((地独)神奈川県立産業技術総合研究所)をお招きし手動両面マスクアライナ を使ったフォトレジストの性質、精密露光や現像の原理について講習をしていただきました。また、実際にNANOB […]
2022年5月12日に山本 貴富喜 先生 (東京工業大学工学院 准教授)研究所)をお招きしレーザー直接描画装置 を使ったフォトレジストへのリソグラフィの原理について講習をしていただきました。また、実際にNANOBICのレ […]
2021年12月16日に松垣 仁 先生 ((地独)神奈川県立産業技術総合研究所)をお招きしダイシングソーを使った基板切断の原理について講習をしていただきました。また、実際にNANOBICのダイシングソー DAD-522( […]
2021年12月2日に伊倉 和之 先生( SCIVAX 株式会社)をお招きし、ナノインプリント技術の基礎と装置の原理について講習をしていただきました。また、実際にNANOBICのナノインプリント装置X-300(SCIVA […]