２０２１年１１月２５日（木）田口 良広 先生 （慶應義塾大学理工学部 教授）を御招きし、感光性レジストを均一膜厚に全自動塗布する装置の仕組みについて講習をしていただきました。さらにNANOBICのクラスタ型コータデベロッパ(GAMMA)、スピンコータ(MS-A200)を使用し、実習も行いました。
２０２１年１１月２５日（木）田口 良広 先生 （慶應義塾大学理工学部 教授）を御招きし、感光性レジストを均一膜厚に全自動塗布する装置の仕組みについて講習をしていただきました。さらにNANOBICのクラスタ型コータデベロッパ(GAMMA)、スピンコータ(MS-A200)を使用し、実習も行いました。
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