２０２１年６月１０日に山本貴富喜先生（東京工業大学工学院 准教授）をお招きし、レーザー直接描画装置を用いたフォトマスクの作製方法についての原理を講習していただきました。また実際に装置を使ってモデルチップ（液滴生成チップ）のクロムマスク作製の体験実習を行いました。
２０２１年６月１０日に山本貴富喜先生（東京工業大学工学院 准教授）をお招きし、レーザー直接描画装置を用いたフォトマスクの作製方法についての原理を講習していただきました。また実際に装置を使ってモデルチップ（液滴生成チップ）のクロムマスク作製の体験実習を行いました。
Categories:
Tags:
Comments are closed