２０２１年７月８日に関口 哲志 先生（早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構上級研究員（研究院教授））をお招きし、シリコン深掘り加工の原理や、応用事例について講習をしていただきました。また実際にNANOBICのシリコン深掘りDRIE装置を使用し実習を行いました。
２０２１年７月８日に関口 哲志 先生（早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構上級研究員（研究院教授））をお招きし、シリコン深掘り加工の原理や、応用事例について講習をしていただきました。また実際にNANOBICのシリコン深掘りDRIE装置を使用し実習を行いました。
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