Posts in 2021年11月4日

by 管理者 |
on 11月 4 |
at 5:00 PM

第１４回ナノファブスクエア講習・実習会【金属薄膜形成 １】を開催しました

２０２１年１１月４日（木）に茂木 克雄 先生（産業技術総合研究所 主任研究員）をお招きし、プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習していただきました。また、実際にNANOBICのECRイオンビームスパッタ成膜装置 […]
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