2022年5月12日に山本 貴富喜 先生 (東京工業大学工学院 准教授)研究所)をお招きしレーザー直接描画装置 を使ったフォトレジストへのリソグラフィの原理について講習をしていただきました。また、実際にNANOBICのレーザー直接描画装置(Heiderberg Instruments Mikrotechnik社製 DWL66fs)を使用し実習も行いました。

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