２０２２年７月21日に塚原 剛彦 先生 (東京工業大学 科学技術創成研究院先導原子力研究所 教授)をお招きし、プラズマを使ったガラスの深掘りエッチングについて、原理の講習をしていただきました。また、実際にNANOBICの高密度プラズマドライエッチング装置（（株）アルバック社製 NLD-570）を使用し実習も行いました。
２０２２年７月21日に塚原 剛彦 先生 (東京工業大学 科学技術創成研究院先導原子力研究所 教授)をお招きし、プラズマを使ったガラスの深掘りエッチングについて、原理の講習をしていただきました。また、実際にNANOBICの高密度プラズマドライエッチング装置（（株）アルバック社製 NLD-570）を使用し実習も行いました。
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