2022年7月8日に関口 哲志 先生(早稲田大学ナノ・ライフ創新研究機構研究院教授)をお招きしシリコン深掘りDRIE装置を使ったシリコンの深掘り加工の原理や、応用事例について講習をしていただきました。また、実際にNANOBICのシリコン深掘りDRIE装置 MUC-21(住友精密工業(株)製)を使用し実習も行いました。

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