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マイクロ・ナノ多機能デバイス連携研究機構
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Posts in 2022年12月22日
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12月 22
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5:09 PM
2022年度 第16回ナノファブスクエア講習・実習会【レジスト塗布】を開催しました
2022年12月22日に田口 良広 先生(慶應義塾大学理工学部 教授)をお招きし、感光性レジストを均一膜厚に全自動塗布する装置の仕組みについて講習をしていただきました。 また実際に装置を使って実習会も行いました。
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管理者
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12月 22
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5:02 PM
2022年度 第18回ナノファブスクエア講習・実習会【金属薄膜形成 2】を開催しました
2022年12月22日に田口 良広 先生 (慶應義塾大学理工学部 教授)をお招きし、プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習をしていただきました。 また実際に装置を使って実習会も行いました。
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