２０２１年７月２１日に塚原 剛彦 先生（東京工業大学 科学技術創成研究院 先導原子力研究所 教授）をお招きし、プラズマを使ったガラスの深掘りエッチングについて、講習をしていただきました。また実際にNANOBICの高密度プラズマドライエッチング装置（NLD 570）を使用し実習を行いました。
２０２１年７月２１日に塚原 剛彦 先生（東京工業大学 科学技術創成研究院 先導原子力研究所 教授）をお招きし、プラズマを使ったガラスの深掘りエッチングについて、講習をしていただきました。また実際にNANOBICの高密度プラズマドライエッチング装置（NLD 570）を使用し実習を行いました。
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