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マイクロ・ナノ多機能デバイス連携研究機構
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Posts in 2022年5月26日
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管理者
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on
5月 26
|
at
4:00 PM
2022年度 第2回ナノファブスクエア講習・実習会【精密リソグラフィ 】を開催しました
2022年5月26日に佐藤 友美 先生 ((地独)神奈川県立産業技術総合研究所)をお招きし手動両面マスクアライナ を使ったフォトレジストの性質、精密露光や現像の原理について講習をしていただきました。また、実際にNANOB […]
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