２０２１年１０月２８日（木）に高橋 英俊 先生（慶應義塾大学 理工学部 専任講師）をお招きし、パリレン蒸着装置を使った薄膜形成法の原理について講習していただきました。また、実際にNANOBICのパリレン蒸着装置 PDS- […]
２０２１年１０月２１日（木）に小出 晃 先生 （株式会社 日立アカデミー）をお招きし、液滴チップ等、マイクロ流路の試作で必要となるAu/Cr スパッタ膜の電極パターニングをウェットエッチングで行う実践的な実習をしていただ […]
２０２１年９月３０日に計測エンジニアリングシステム株式会社の方をお招きし、シミュレーションソフトウェア＊で水晶発振器の解析と応力‐光学連成解析の体験,事例紹介をしていただきました。 ＊COMSOL Multiphysic […]
２０２１年９月１６日に計測エンジニアリングシステム株式会社の方をお招きし、シミュレーションソフトウェア＊の使用方法 、プラズモンの電磁気解析とSAW共振器解析の体験、事例紹介をしていただきました。 ＊COMSOL Mul […]
２０２１年８月１９日に三宅 亮 先生（東京大学大学院工学系研究科 教授）をお招きし講習、実習をしていただきました。ミクロンオーダーの鋳型（モールド）を作り、転写技術によってマイクロ流路を作製し、簡単な送液実験も行いました […]
２０２１年７月２１日に塚原 剛彦 先生（東京工業大学 科学技術創成研究院 先導原子力研究所 教授）をお招きし、プラズマを使ったガラスの深掘りエッチングについて、講習をしていただきました。また実際にNANOBICの高密度プ […]
２０２１年７月８日に関口 哲志 先生（早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構上級研究員（研究院教授））をお招きし、シリコン深掘り加工の原理や、応用事例について講習をしていただきました。また実際にNANOBICのシリコン深掘 […]
２０２１年６月１０日に山本貴富喜先生（東京工業大学工学院 准教授）をお招きし、レーザー直接描画装置を用いたフォトマスクの作製方法についての原理を講習していただきました。また実際に装置を使ってモデルチップ（液滴生成チップ […]
2021年5月27日に佐藤友美先生をお招きし、フォトレジストの性質、精密露光や現像のテクニックについて講習を行っていただきました。またNANOBICの手動両面マスクアライナを使用し実習も行いました。
https://www.kva.se/en/nyheter/tre-nya-ledamoter-invalda-i-akademien-i-september スウェーデン王立科学アカデミーは、1739年にフレドリク1世 […]
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