２０２２年８月４日に三宅 亮 先生 (東京大学大学院工学系研究科 教授)をお招きし、レーザー直接描画装置を使ったマイクロモールディングについて、原理の講習をしていただきました。また、実際にミクロンオーダーの鋳型（モールド […]
２０２２年７月21日に塚原 剛彦 先生 (東京工業大学 科学技術創成研究院先導原子力研究所 教授)をお招きし、プラズマを使ったガラスの深掘りエッチングについて、原理の講習をしていただきました。また、実際にNANOBICの […]
２０２２年７月８日に関口 哲志 先生（早稲田大学ナノ・ライフ創新研究機構研究院教授)をお招きしシリコン深掘りDRIE装置を使ったシリコンの深掘り加工の原理や、応用事例について講習をしていただきました。また、実際にNANO […]
２０２２年５月２６日に佐藤 友美 先生 ((地独)神奈川県立産業技術総合研究所)をお招きし手動両面マスクアライナ を使ったフォトレジストの性質、精密露光や現像の原理について講習をしていただきました。また、実際にNANOB […]
２０２２年５月１２日に山本 貴富喜 先生 (東京工業大学工学院 准教授)研究所）をお招きしレーザー直接描画装置 を使ったフォトレジストへのリソグラフィの原理について講習をしていただきました。また、実際にNANOBICのレ […]
２０２１年１２月１６日に松垣 仁 先生 （(地独)神奈川県立産業技術総合研究所）をお招きしダイシングソーを使った基板切断の原理について講習をしていただきました。また、実際にNANOBICのダイシングソー DAD-522（ […]
２０２１年１２月２日に伊倉 和之 先生（ SCIVAX 株式会社）をお招きし、ナノインプリント技術の基礎と装置の原理について講習をしていただきました。また、実際にNANOBICのナノインプリント装置X-300（SCIVA […]
２０２１年１１月２５日（木）田口 良広 先生 （慶應義塾大学理工学部 教授）を御招きし、感光性レジストを均一膜厚に全自動塗布する装置の仕組みについて講習をしていただきました。さらにNANOBICのクラスタ型コータデベロッ […]
２０２１年１１月１８日に松垣 仁 先生（(地独)神奈川県立産業技術総合研究所）をお招きし、微細加工表面のプロファイル測定の原理について講習をしていただきました。またモデル試料を用いて、NANOBICの超高解像度表面形状計 […]
２０２１年１１月４日（木）に茂木 克雄 先生（産業技術総合研究所 主任研究員）をお招きし、プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習していただきました。また、実際にNANOBICのECRイオンビームスパッタ成膜装置 […]
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